合成納米復(fù)合材料作為一種具有獨特性能的保護(hù)涂層,在過去的三十年中一直是一種新型的薄膜材料。迄今為止,基于納米復(fù)合材料的幾種硬質(zhì)涂層已經(jīng)成功地開發(fā)和應(yīng)用于工程應(yīng)用領(lǐng)域。
出現(xiàn)的問題:
1.大顆粒污染;相對較高的沉積溫度;薄膜內(nèi)應(yīng)力大;易引發(fā)微弧等。
2.對偏壓電源設(shè)備要求高,沉積溫度不能準(zhǔn)確控制,工藝穩(wěn)定性差等缺點。
解決方法:
1.將基體置于腔室中,升溫至300℃~500℃,抽真空至3.0×10-3pa~7.0×10-3pa,通入100sccm~250sccm氬氣和50sccm~150sccm氪氣,設(shè)置工件轉(zhuǎn)架偏壓為-650v~-1000v,頻率為20khz~240khz,進(jìn)行脈沖刻蝕10min~20min;然后再次通入100sccm~250sccm氬氣和50sccm~150sccm氪氣,設(shè)置工件轉(zhuǎn)架偏壓為-150v~-300v,離子源電流為15a~30a,進(jìn)行直流刻蝕20min~50min。
2.調(diào)節(jié)偏壓至-80v~-200v,通入200~450sccm的氬氣,點燃cr靶,調(diào)節(jié)氣壓至1pa~2.5pa,溫度設(shè)為300℃~450℃,脈沖電弧電源輸出電流波形為矩形波或鋸齒波,輸出的脈沖平均電流70a~110a,頻率為5hz~200hz,占空比為1%~70%,在基體表面沉積cr界面植入層,沉積時間為5min~10min。
3.調(diào)節(jié)偏壓至-80~-150v,通入200~600sccm的氮氣,點燃cr靶,調(diào)節(jié)氣壓至1.0pa~2.5pa,溫度300℃~450℃,脈沖電弧電源輸出電流波形為矩形波或鋸齒波,輸出的脈沖平均電流70a~110a,頻率為5hz~200hz,占空比為1%~70%,在所述cr界面植入層表面沉積crn過渡層,沉積時間為10min~30min。
4.調(diào)節(jié)偏壓至-50v~-150v,通入250sccm~600sccm的氮氣,點燃alcrsi靶,調(diào)節(jié)氣壓至1.0pa~2.5pa,溫度設(shè)為300℃~450℃,脈沖電弧電源輸出電流波形為矩形波或鋸齒波,輸出的脈沖平均電流60a~100a,頻率設(shè)為5hz~200hz,占空比為1%~70%,在所述crn過渡層表面沉積alcrsin過渡層,沉積時間為1h~4h。
解決方案:
本發(fā)明一種高溫耐磨的AlCrSiN納米復(fù)合涂層通過采用脈沖電弧離子鍍的方法,在基體表面由下至上依次沉積Cr界面植入層、CrN過渡層和AlCrSiN表面功能層。通過實驗證明,通過上述技術(shù)方案得到的AlCrSiN納米復(fù)合涂層不僅具有優(yōu)異的高溫穩(wěn)定性和耐磨性能,還具有表面大顆粒少、內(nèi)應(yīng)力低、膜基結(jié)合強(qiáng)度高等優(yōu)點,適用于機(jī)械零部件、刀模具等產(chǎn)品表面的防護(hù)。